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クリーン仕様 AD型 ダイレクトシール式 アクチュエーター搭載自動弁

Cv値50%アップを実現した新ダイレクトシール構造を採用

クリーン仕様 AD型 ダイレクトシール式 アクチュエーター搭載自動弁
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高純度ガス用容器に対応した、高洗浄・クリーン仕様のダイレクトシール式ダイヤフラムバルブ。新ダイレクトシール構造により、デッドスペースを極小化、一般的なダイレクトシール構造に比べCv値50%アップを実現しました。

 

高圧ガス保安法に基づき(一部ガスでは対象外)厳格に製造。シラン、ホスフィン、アルシン等の特殊材料ガスに最適です。

 

【型番】

AD-PS-2100型・AD-MS-2100型

 

特長

・バルブ内部のデットスペースを極小化、パージ性能を大幅に改善した新ダイレクトシールダイヤフラム構造。

・一般的なダイレクトシール構造に比べ、Cv値を約50%アップ。将来の大流量消費に対応。

・バルブ本体接ガス部に精密な内面研磨(1S以下)を実施。

・安全弁部には、本体に保護された異形材を採用。専用治具以外では開閉できない構造により、誤操作を防止。

・クリーンルーム内にて、超純水による最終洗浄を実施。

・ヘリウムリークディテクターにより、全数漏れ量測定(内部リーク、外部リーク)を実施。

・充填口内部にオリフィスを取付け可能なタイプのほか、手動弁タイプのAD-MS型と自動弁タイプのAD-PS型をラインナップ。

製品仕様

※左右にスワイプしてご覧ください

ガス名 品名 ハンドル 充填口 フューズメタル 備考
各種ガス AD-PS-2100 自動弁タイプ
各種ガス AD-MS-2100 手動弁タイプ

 

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