特殊高圧ガスSUS容器バルブ
- クリーン仕様 AD型 ダイレクトシール式 アクチュエーター搭載自動弁
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- クリーン仕様 FSC-55LN型 ステンレス製ダイヤフラムバルブ
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- クリーン仕様 PASC-55L型 アクチュエーター搭載 ステンレス製自動弁
Products
クリーン仕様 AD型 ダイレクトシール式 アクチュエーター搭載自動弁
Cv値50%アップを実現した新ダイレクトシール構造を採用
高純度ガス用容器に対応した、高洗浄・クリーン仕様のダイレクトシール式ダイヤフラムバルブ。新ダイレクトシール構造により、デッドスペースを極小化、一般的なダイレクトシール構造に比べCv値50%アップを実現しました。
高圧ガス保安法に基づき(一部ガスでは対象外)厳格に製造。シラン、ホスフィン、アルシン等の特殊材料ガスに最適です。
【型番】
AD-PS-2100型・AD-MS-2100型
特長
・バルブ内部のデットスペースを極小化、パージ性能を大幅に改善した新ダイレクトシールダイヤフラム構造。
・一般的なダイレクトシール構造に比べ、Cv値を約50%アップ。将来の大流量消費に対応。
・バルブ本体接ガス部に精密な内面研磨(1S以下)を実施。
・安全弁部には、本体に保護された異形材を採用。専用治具以外では開閉できない構造により、誤操作を防止。
・クリーンルーム内にて、超純水による最終洗浄を実施。
・ヘリウムリークディテクターにより、全数漏れ量測定(内部リーク、外部リーク)を実施。
・充填口内部にオリフィスを取付け可能なタイプのほか、手動弁タイプのAD-MS型と自動弁タイプのAD-PS型をラインナップ。
製品仕様
※左右にスワイプしてご覧ください
ガス名 | 品名 | ハンドル | 充填口 | フューズメタル | 備考 |
各種ガス | AD-PS-2100 | ― | 左 | ○ | 自動弁タイプ |
各種ガス | AD-MS-2100 | ― | 左 | ○ | 手動弁タイプ |