特殊高圧ガスSUS容器バルブ
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- EGVN型 タイドダイヤフラムバルブ
- FS-55LN型 ステンレス製ダイヤフラムバルブ
- クリーン仕様 FSC-55LN型 ステンレス製ダイヤフラムバルブ
- SOFIC 小型・軽量・高推力アクチュエーター搭載 ステンレス製自動弁
- SUS-55L型 ステンレス製ダイヤフラムバルブ
- SUS-01L-N型 インプラ用 ステンレス製ダイヤフラムバルブ
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- PAS-55L型 アクチュエーター搭載 ステンレス製自動弁
- クリーン仕様 PASC-55L型 アクチュエーター搭載 ステンレス製自動弁
Products
FS-55LN型 ステンレス製ダイヤフラムバルブ
ハンドル緩み防止機能を搭載したスタンダードモデル
高純度ガス用ダイヤフラムバルブのスタンダードモデル。実績ある55L型構造を採用し、幅広い種類の特殊高圧ガスに対応可能です。軽快でスムーズなハンドル動作。グランド部に、振動によるハンドル緩み防止機能を搭載しました。
【型番】
FS-55LN型
特長
・高純度ガス(半導体特殊材料ガス用)として、多数の導入実績を誇るスタンダードモデル。
・軽快でスムーズなハンドル開閉動作。容器内圧14.7MPaを、手動操作で完全閉止可能。
・圧縮ガス用バルブの参考Cv値は0.3。
・ボディにSUS316Lステンレス材を使用。
・ホスフィン、アルシン等特殊材料ガスから、高純度ヘリウム並びに高純度塩素、アンモニア等の液化ガスまで幅広く対応。
・ヘリウムリークディテクターにより、全数漏れ量測定(内部リーク、外部リーク)を実施。
・グランド部には、振動による緩み防止機構を搭載。
・充填口内部にオリフィスを取付け可能なタイプもご用意。
製品仕様
※左右にスワイプしてご覧ください
ガス名 | 品名 | ハンドル | 充填口 | フューズメタル | 備考 |
不燃性ガス(支燃性) | FS-55LN-0HF | ○ | 右 | ○ | |
可燃性ガス | FS-55LN-1HF | ○ | 左 | ○ | |
可燃性ガス | FS-55LN-1HF(FRT) | ○ | 左 | ○ | オリフィス用ネジ付 |
NH3(LG) | FS-55LFN-8HF | ○ | 左 | ○ | フラットシート 右仕様も可 |
Cl2(LG) | FS-55LFN-CL2 | ○ | 右 | ○ | フラットシート |
●小容器用(V1)も対応可能です。 | |||||
●充てん口はCGA規格(DISS等)各種対応可能です。 | |||||
●表記以外のガスにつきましては、ご相談下さい |
製品取扱上のご注意
① 容器に装着するとき
■ バルブは、適合する容器以外に装着しない
容器に適合したバルブを装着して下さい。
■ バルブおよび容器のネジが良好であること
ネジに有害な傷等がないことを確認してください。
シール材の再利用はしないでください。
■ 過大なトルクをかけない
② ガスを充てんするとき
■ 過充てんをしない
圧力計や秤量器を用いて適正なガス量を充てんしてください。
ガス充てん後、バルブのハンドル(レンチ)を適正なトルクで閉めてください。
③ 運搬をするとき
■ 乱暴な取扱いをしない
乱暴な取扱いや落としたりしないでください。
④ ガスを消費するとき
■ バルブの開閉は、静かにゆっくりと行い、過大なトルクをかけない
⑤ 容器から脱却するとき
■ 容器内にガスがないことを確認する
容器内にガスが残っていないことを確認してください。