・高純度ガス（半導体特殊材料ガス用）として多数の導入実績を誇るFS-55LN型の高洗浄クリーン仕様モデル。

・ボディにSUS316Lステンレス材を使用。

・バルブ本体接ガス部に精密な内面研磨（1S以下）を実施。

・接ガス部の金属材料は、ケレップを含め全て研磨品を使用し、パーティクルフリーを実現。

・軽快でスムーズなハンドル開閉動作。容器内圧14.7MPaを、手動操作で完全閉止可能。

・圧縮ガス用バルブの参考Cv値は0.3。

・ホスフィン、アルシン等特殊材料ガスから、高純度ヘリウム並びに高純度塩素、アンモニア等の液化ガスまで対応可能です。

・ヘリウムリークディテクターにより、全数漏れ量測定（内部リーク、外部リーク）を実施。

・グランド部には、振動による緩み防止機構を搭載。

・充填口内部にオリフィス取付け可能なタイプもご用意。

① 容器に装着するとき

■ バルブは、適合する容器以外に装着しない

容器に適合したバルブを装着して下さい。

■ バルブおよび容器のネジが良好であること

ネジに有害な傷等がないことを確認してください。

シール材の再利用はしないでください。

■ 過大なトルクをかけない

 

② ガスを充てんするとき

■ 過充てんをしない

圧力計や秤量器を用いて適正なガス量を充てんしてください。

ガス充てん後、バルブのハンドル(レンチ）を適正なトルクで閉めてください。

 

③ 運搬をするとき

■ 乱暴な取扱いをしない

乱暴な取扱いや落としたりしないでください。

 

④ ガスを消費するとき

■ バルブの開閉は、静かにゆっくりと行い、過大なトルクをかけない

 

⑤ 容器から脱却するとき

■ 容器内にガスがないことを確認する

容器内にガスが残っていないことを確認してください。