・高純度ガス（半導体特殊材料ガス用）として定評ある、SUS-55L型の高洗浄クリーン仕様モデル。

・ボディにSUS316Lステンレス材を使用。

・充てん口はCGA規格（DISS等）各種規格に対応可能。

・バルブ本体接ガス部に精密な内面研磨（1S以下）を実施。

・クリーンルーム内にて、超純水による最終洗浄を実施。

・ヘリウムリークディテクターにより、全数漏れ量測定（内部リーク、外部リーク）を実施。

・ベーキング時、取外し可能なフューズメタル構造を採用。

① 容器に装着するとき

■ バルブは、適合する容器以外に装着しない

容器に適合したバルブを装着して下さい。

■ バルブおよび容器のネジが良好であること

ネジに有害な傷等がないことを確認してください。

シール材の再利用はしないでください。

■ 過大なトルクをかけない

 

② ガスを充てんするとき

■ 過充てんをしない

圧力計や秤量器を用いて適正なガス量を充てんしてください。

ガス充てん後、バルブのハンドル(レンチ）を適正なトルクで閉めてください。

 

③ 運搬をするとき

■ 乱暴な取扱いをしない

乱暴な取扱いや落としたりしないでください。

 

④ ガスを消費するとき

■ バルブの開閉は、静かにゆっくりと行い、過大なトルクをかけない

 

⑤ 容器から脱却するとき

■ 容器内にガスがないことを確認する

容器内にガスが残っていないことを確認してください。