特殊高圧ガスSUS容器バルブ
- クリーン仕様 AD型 ダイレクトシール式 アクチュエーター搭載自動弁
- EGVN型 タイドダイヤフラムバルブ
- FS-55LN型 ステンレス製ダイヤフラムバルブ
- クリーン仕様 FSC-55LN型 ステンレス製ダイヤフラムバルブ
- SOFIC 小型・軽量・高推力アクチュエーター搭載 ステンレス製自動弁
- ダイヤフラムバルブ SUS型 (ステンレス製)
- SUS-01L-N型 インプラ用 ステンレス製ダイヤフラムバルブ
- クリーン仕様 SCR-55L型 ステンレス製ダイヤフラムバルブ
- PAS-55L型 アクチュエーター搭載 ステンレス製自動弁
- クリーン仕様 PASC-55L型 アクチュエーター搭載 ステンレス製自動弁
Products
ダイヤフラムバルブ SUS型 (ステンレス製)
高性能且つ優れたコストパフォーマンスを実現した半導体製造用バルブ
■<SUS型>は、高純度ガス(半導体・特殊材料ガス)に対応した、半導体製造用<ダイヤフラム式・高圧バルブ>のエコノミー仕様モデルです。
この<ダイヤフラム高圧バルブ>は、耐食性に優れたSUSF304ステンレス材を使用。駆動部(ハンドル側)と流路を隔離したダイヤフラム構造により、
高い気密性とクリーン性を実現、ハンドル箇所から油や異物混入の防止が可能です。また、<ダイヤフラムバルブ SUS型>は、高圧ガス保安法準拠をクリアした、厳格な製造を行っています(※一部ガスでは対象外)。
本製品は、高純度ガス、特殊材料ガス等に使用する高圧バルブとして、多数のユーザー様に採用されています。
●≪主な対応ガス種≫
腐食性ガス/毒性ガス 他
※液化ガス用に最適なフラットシートタイプも、別途ラインナップしています。流体に合わせて、樹脂シート以外のメタルタッチ仕様の選択が可能です。
※その他、流体に合わせた、様々な種類の接ガス部材質をご用意しています。
※ステンレス製ダイヤフラムバルブは、一般高圧ガス容器、特殊高圧ガス・ステンレス容器に取付可能です。
詳しくはメール・お電話でお問い合わせください。
★<ハマイの高圧バルブは高品質を追求>
ハマイの高圧バルブは、ハマイ独自のダブルOリング構造(2重のシール)や、不燃性にこだわったオイルフリー設計を多数の製品に採用。高気密シート搭載により、半導体や産業機器製造において優れた性能を発揮、安全で確実な作動を実現しています。
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■【製品ラインナップ】
・SUS-12-0H
・SUS-12-1H
・SCR-55L(研磨・高洗浄クリーン仕様)
・SUS-55L
■【本製品の特長】
●バルブ本体に耐食性に優れたSUSF304ステンレス材を採用。
●テフロン等のパッキン及びダブルOリングにより、高い気密性を実現。
●一般高圧ガスにおいて、圧縮ガス/液化ガス双方に対応。
●半導体・特殊材料ガス用のクリーンバルブに対応。
●使用環境に合わせた複数のステンレス製容器用バルブをラインナップ。
●日本国内の自社工場による高品質製造
本製品が選ばれている理由について
■ハマイは、半導体製造分野において、特定工程に不可欠な高精度/特殊高圧バルブを製造できる世界のTOP3メーカーとして、業界内で圧倒的な優位性を確立しています。
当社の高圧バルブは、世界中の大手半導体製造メーカーを始めとする様々な最先端テクノロジー企業が採用、高度な開発技術力でお応えしています。
★<ダイヤフラムバルブ SUS型(ステンレス製)>には、ハマイの高度な「高圧バルブテクノロジー」が生かされています。
製品仕様
※左右にスワイプしてご覧ください
| ガス名 | 品名 | ハンドル | 充填口 | フューズメタル | 備考 |
| 不燃性ガス(支燃性) | SUS-55L-0HF | ○ | 右 | ○ | |
| 可燃性ガス | SUS-55L-1HF | ○ | 左 | ○ | |
| ●小容器用(V1)も対応可能です。 ●液化ガス等については、ご相談ください。 | |||||
製品取扱上のご注意
① 容器に装着するとき
■ バルブは、適合する容器以外に装着しない
容器に適合したバルブを装着して下さい。
■ バルブおよび容器のネジが良好であること
ネジに有害な傷等がないことを確認してください。
シール材の再利用はしないでください。
■ 過大なトルクをかけない
② ガスを充てんするとき
■ 過充てんをしない
圧力計や秤量器を用いて適正なガス量を充てんしてください。
ガス充てん後、バルブのハンドル(レンチ)を適正なトルクで閉めてください。
③ 運搬をするとき
■ 乱暴な取扱いをしない
乱暴な取扱いや落としたりしないでください。
④ ガスを消費するとき
■ バルブの開閉は、静かにゆっくりと行い、過大なトルクをかけない
⑤ 容器から脱却するとき
■ 容器内にガスがないことを確認する
容器内にガスが残っていないことを確認してください。





